浸没液也是优化的3g系列，能把na推高到145左右。”
吴明翰放下激光笔，看向常浩南：
“不过，这基本就是传统技术路线的极限了。”
常浩南一直专注地听着，此刻微微皱起了眉：“浸没液这块我不熟悉，不过……底镜为什么不能用折射率更高的材料？”
紧接着又补充了一个更详细的数字：“我记得……镥铝石榴石的折射率能接近19？”
这是之前做实验过程中用过的。
这个问题一出口，会议室内包括周学、黄炜在内的所有人，几乎同时精神一振。
倒不是说问题本身有多精深。
而是足够具体。
这绝非一个外行能随口问出的问题。
无论答案是什么，都强烈地印证了一点：常院士此行，绝对带着明确的技术目的和解决方案而来！
吴明翰立刻回应道：“镥铝石榴石确实是目前已知的、在深紫外波段折射率最高的透明材料……理论上，如果能将它成功应用于物镜底镜，结合目前最高端的第三代浸没液，确实有可能将na值提升到170……或者更高。”
他先是吹捧了一番，然后话锋一转：
“不过，高折射率带来的高na值也有弊端。”他再次拿起激光笔，在刚才的示意图上着重描绘底镜的位置：“一个优秀的光刻物镜组，要求光线在系统内的走势尽可能平滑，而光线的大折射角传播则必定给系统带来较大的像差和色散差。”
“设计物镜组的过程中一方面要防止系统内多个反射镜之间遮拦成像光束，另一方面还要尽可能降低因为超高折射率而导致的像差和色散差，难度极高……就算设计能够实现，也需要引入更多的镜片元件、更复杂的曲面设计……”
“……”
吴明翰并非光学系统出身，但这部分知识对于半导体生产领域而言不算特别前沿，所以也能很快解释清楚：
“总之，目前还做不到。”
然而，这个结果却没有让常浩南感到气馁。
尤其是在他听对方说起像差和色差的时候——
无论“突破衍射极限”的猜想是否能够成行，负折射率材料天生的负色散特性总归是确定存在的。
单凭其在色差补偿方面的颠覆性能力，也足以成为解决超高na物镜组设计痛点的关键。
他心中迅速盘算起来：
如果能把现有duv光刻机的na值从135大幅提升到170以上，相当于把等效分辨率波长从1422n压缩到1129n。
这将极大扩展现有duv设备的实用能力边界，可能直接解决40n乃至28n的图形化问题，显著减轻对多重曝光技术的依赖，从而绕开良率和成本的泥潭！
片刻的思索后，常浩南心中已有了初步的盘算。
他依旧没有直接点破负折射率材料的存在，但决定再向前推进一步。
“实不相瞒，火炬实验室目前正在探索一种新型的光学系统设计理念，其中涉及一些……非传统的路径。”他措辞谨慎，“为了更好地评估这种新理念的潜力，我们迫切需要一些关键的设计输入参数。”
吴明翰心说终于来了。
对方提出的要求极其具体且专业，目标明确指向了物镜系统。
结合之前提到的“新型设计理念”和对镥铝石榴石特性的关注，一个模糊但激动人心的轮廓在吴明翰脑海中逐渐浮现——
常院士手中，很可能掌握着一种能够解决高na值问题的颠覆性技术！
想到这里，他用肉眼难辨的速度掏出了早就准备好的纸笔：
“您说”
常浩南看着眼前这副早有准备样子也是一愣，然后开始列出需求：
“首先，我们需要明确目标na值下对应的、实际光刻工艺所要求的光学设计规格。包括但不限于：有效成像视场的大小、允许的最大波像差、畸变容限、还有系统的工作距离等硬性指标。”
“其次是透镜组的整体结构布局……”
“……”
洋洋洒洒，十几分钟才终于说完。
吴明翰从头到尾浏览了一下。
不知道是不是常浩南有意，总之几乎不涉及华芯国际的核心技术。
甚至无需向董事会征求意见，他这个层级就能直接做决定。
于是朝着周学点了点头。
后者随即接过话茬：
“虽然全折射物镜的研发项目已经中止，但所有技术文档和实验数据都完整归档保存着，我可以直接授权调阅，虽然当初的设计远达不到17na的指标，但里面的设计逻辑、材料选择考量、以及当时遇到的像差问题记录，应该很有价值。”
“放心，调阅就足够了。”常浩南点头，“都是一套体系里面的，我知道内部会有一些保密要求，不会复制的。”
周学听罢，略略松了口气：
如果对
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